場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡
簡(jiǎn)要描述：SEM5000是一款分辨率高、功能豐富的場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡。*鏡筒設(shè)計(jì)，高壓隧道技術(shù)（SuperTunnel）、低像差無漏磁物鏡設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了低電壓高分辨率成像，同時(shí)磁性樣品可適用。光學(xué)導(dǎo)航、完善的自動(dòng)功能、精心設(shè)計(jì)的人機(jī)交互，優(yōu)化的操作和使用流程，無論經(jīng)驗(yàn)是否豐富，都可以快速上手，完成高分辨率拍攝任務(wù)
產(chǎn)品型號(hào)：SEM5000- 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間：2024-04-22
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場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000
產(chǎn)品介紹
SEM5000是一款分辨率高、功能豐富的場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡。
*鏡筒設(shè)計(jì)，高壓隧道技術(shù)（SuperTunnel）、低像差無漏磁物鏡設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了低電壓高分辨率成像，同時(shí)磁性樣品可適用。光學(xué)導(dǎo)航、完善的自動(dòng)功能、精心設(shè)計(jì)的人機(jī)交互，優(yōu)化的操作和使用流程，無論經(jīng)驗(yàn)是否豐富，都可以快速上手，完
成高分辨率拍攝任務(wù)。
電子槍類型 肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍
加速電壓 20V ~ 30 kV
分辨率 1 nm @ 15 kV, SE 1.5nm @ 1 kV, SE 0.8nm@30KV, STEM
樣品臺(tái) 五軸全自動(dòng)樣品臺(tái)
放大倍率 1 ~ 2,500,000 x
產(chǎn)品特點(diǎn)
分辨率高，低加速電壓下實(shí)現(xiàn)高分辨成像
電磁復(fù)合物鏡，減小像差，顯著提高低電壓下的分辨率，而且可觀察磁性樣品
高壓隧道技術(shù)(SuperTunnel) ，在隧道中的電子能保持高能量，減少了空間電荷效應(yīng)，低電壓分辨率得到保證
電子光路無交叉，有效的降低系統(tǒng)像差，提升分辨能力
水冷恒溫物鏡，保證物鏡工作的穩(wěn)定性、可靠性和可重復(fù)性
磁偏轉(zhuǎn)六孔可調(diào)光闌，自動(dòng)切換光闌孔，無需機(jī)械調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換
應(yīng)用領(lǐng)域
規(guī)格參數(shù)
電子光學(xué)系統(tǒng)
分辨率 0.9 nm @ 15 kV, SE
1.3 nm @ 1 kV, SE
0.8nm@30KV, STEM
放大倍率 1 x ～ 2,500,000 x
加速電壓 20V ～ 30 kV
電子槍類型 肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍
探測(cè)器及拓展
標(biāo)配 鏡筒內(nèi)高角度電子探測(cè)器
側(cè)向二次電子探測(cè)器
選配 插入式背散射電子探測(cè)器
STEM自動(dòng)插入式掃描透射探測(cè)器
樣品交換倉
高速束閘和電子束曝光
EDS能譜儀
EBSD背散射衍射
EBIC電子束感生電流
CL陰極熒光
高低溫原位拉伸臺(tái)
納米機(jī)械手
大圖拼接
軌跡球 & 旋鈕控制板
樣品室
真空系統(tǒng) 全自動(dòng)控制，無油真空系統(tǒng)
攝像頭 雙攝像頭
( 光學(xué)導(dǎo)航 + 樣品倉內(nèi)監(jiān)控 )
樣品臺(tái)配置行程
X: 125 mm
Y: 125 mm
Z: 50mm
R: 360°
T: -10°～ +90°
軟件
語言 中文
操作系統(tǒng) Windows
導(dǎo)航 光學(xué)導(dǎo)航、手勢(shì)快捷導(dǎo)航
自動(dòng)功能 自動(dòng)亮度對(duì)比度、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)像散
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