超高分辨肖特基場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡核心理念

1. 采用優(yōu)異的成像技術(shù)
   SU7000可以迅速獲取從大視野全貌圖到表面微細(xì)結(jié)構(gòu)等多種檢測(cè)信號(hào)。全新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和檢測(cè)系統(tǒng)，使得裝置可以同時(shí)接收二次電子和背散射電子等信號(hào)，用戶可以在短時(shí)間內(nèi)獲得更全面的樣品信息。

2. 采用多通道成像技術(shù)
   隨著用戶對(duì)成像需求的不斷增長(zhǎng)，SU7000特新增了幾種探測(cè)器，還引進(jìn)了相應(yīng)的成像功能。SU7000最多可同時(shí)顯示和保存6通道信號(hào)。實(shí)現(xiàn)了獲得樣品信息的。

3. 支持不同形狀樣品、多種觀察方法
   ?大型樣品觀察
   ?低真空觀察
   ?超低溫觀察
   ?實(shí)時(shí)觀察
   等所需的樣品倉和真空系統(tǒng)都十分完備，觀察方法也是。

4. 支持微納解析
   采用肖特基發(fā)射電子槍，最大束流可達(dá)到200 nA，適用于各種微納解析。樣品倉形狀和接口設(shè)置支持EDX分析、EBSD、陰極熒光分析等，接口設(shè)備可通過選配附件滿足各種特殊需求。

超高分辨肖特基場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡成像能力

追求信息的檢測(cè)系統(tǒng)

隨著用戶對(duì)樣品數(shù)據(jù)的需求更加多元化，對(duì)檢測(cè)系統(tǒng)在短時(shí)間內(nèi)捕捉更多的信息提出了更高的要求。SU7000的檢測(cè)系統(tǒng)可以在不改變WD等條件的前提下，更高效地獲取形貌、成分、晶體學(xué)以及發(fā)光等信息。真正實(shí)現(xiàn)了更快速、更全面的信息收集。

同一條件觀察

通過UD、MD、LD探測(cè)器同時(shí)采集信號(hào)的應(yīng)用實(shí)例 （加速電壓：1 kV）
通過UD、MD、LD探測(cè)器可以同時(shí)采集信號(hào)，UD可獲取表面微細(xì)形狀信息，MD可獲取表面有機(jī)物包覆狀態(tài)信息，LD可獲取整體凹凸形貌信息。在同一個(gè)條件下，實(shí)現(xiàn)了獲取信息的。

采用可多通道顯示的GUI設(shè)計(jì)

優(yōu)化信號(hào)顯示功能

• 成像單元在信號(hào)顯示上也作了全新升級(jí)。

• 用戶可根據(jù)觀察需求，選擇不同的視場(chǎng)角和通道數(shù)。

• 單屏最多可同時(shí)顯示4通道信號(hào)。

• 導(dǎo)航功能(SEM MAP)可以輕松捕捉到顯示樣品倉內(nèi)信息的CCD相機(jī)圖像和相機(jī)拍攝到的樣品圖像，快速顯示目標(biāo)圖像。

• 使用雙屏顯示時(shí)，可在一個(gè)顯示屏上雙通道顯示1,280×960像素的圖像，另一個(gè)顯示屏專門用來顯示信號(hào)，最多可同時(shí)顯示6通道信號(hào)。

高自由度的界面布局

支持雙屏顯示

1st顯示屏專門用來顯示圖像，2nd顯示屏用來顯示操作面板畫面。上圖左圖（1st顯示屏）是通過SU7000觀察到的鋼鐵中非金屬夾雜物的圖片。圖中清晰呈現(xiàn)出UD、LD、UVD、MD、PD-BSED5個(gè)探測(cè)器捕捉到的圖像以及SEM MAP圖。右圖（2nd顯示屏）將操作面板菜單和圖像歷史記錄窗口在同一個(gè)畫面中顯示，界面布局清晰明了。在實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)控圖像的同時(shí)，操作性能也得到了進(jìn)一步提升。

可擴(kuò)展觀察和分析方法

樣品倉和馬達(dá)臺(tái)

樣品倉可搭載最大直徑為φ 200 mm；最高80 mm的樣品。大開倉設(shè)計(jì)，標(biāo)配18個(gè)附件接口。樣品臺(tái)可搭載XY軸最大移動(dòng)距離為135×100 mm，最重2 kg的樣品。搭載大型樣品和功能樣品臺(tái)*不成問題。

相機(jī)導(dǎo)航功能(*)

SU7000可選配導(dǎo)航相機(jī)(*)，迅速鎖定要觀察的位置。相機(jī)安裝在樣品倉內(nèi)，插入樣品后，可半自動(dòng)拍攝樣品的整體圖像。該圖像會(huì)被顯示到導(dǎo)航畫面（SEM MAP）窗口，因此，用戶可以觀察窗口中的圖像判斷位置。最大適用尺寸為φ 100 mm。

• (*)

• 可選配相機(jī)。

支持動(dòng)態(tài)觀察的檢測(cè)系統(tǒng)

SU7000可用于環(huán)境改變的動(dòng)態(tài)觀察。低真空觀察時(shí)，可以選用PD-BSED（背散射電子探測(cè)器）、UVD、MD等各種探測(cè)器(**)。

低真空環(huán)境的探測(cè)器選擇
左圖為通過MD（背散射電子），右圖為通過UVD（二次電子）探測(cè)器觀察到的金屬氧化物纖維的情況。兩張圖分別清晰地呈現(xiàn)出氧化物的分散狀態(tài)和纖維的堆積情況。

PD-BSED：響應(yīng)速度提高
左圖是以一般的響應(yīng)速度，約每?jī)擅霋呙枰淮蔚玫降膱D像；右圖抑制了圖像的漂移，使得整體的畫質(zhì)得到了大幅提升。隨著響應(yīng)速度的提高，更適用于In-Situ觀察。