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CGO-高低溫真空探針臺

簡要描述：CGO-高低溫真空探針臺
溫度范圍77K-675K(液氮)；

可應(yīng)用于真空及常規(guī)環(huán)境；

超高溫度分辨率；

特殊客制低溫系統(tǒng)；

具有*穩(wěn)定性

產(chǎn)品型號：CGO-2/CGO-4/CGO-6
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時(shí)間：2023-06-20
訪問量：2021

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產(chǎn)品詳情

CGO-高低溫真空探針臺

極低溫測試:

因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測試時(shí)，空氣中的水汽會凝結(jié)在晶圓上，會導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。

CGO-高低溫真空探針臺

高溫?zé)o氧化測試：

當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時(shí)，氧化現(xiàn)象會越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過度氧化會導(dǎo)致晶圓電性誤差，物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。

晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象，定位好的探針與器件電極間會有相對位移，這時(shí)需要針座的重新定位，針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調(diào)整探針的位置。

光學(xué)系統(tǒng)：

顯微鏡類型	單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡
放大倍率	16X-200X/20X-4000X
移動行程	水平360度旋轉(zhuǎn)，Z軸行程50.8mm
光源	外置LED環(huán)形光源/同軸光源
CCD	200萬像素/500萬像素/1200萬像素

◆ 其他組件：

真空組件	分子泵組/機(jī)械泵/離子泵
冷源組件	50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷機(jī)

可選附件

超高溫配件

顯示器

轉(zhuǎn)接頭

射頻測試配件

屏蔽箱

光學(xué)平臺

鍍金卡盤

光電測試配件

高壓測試配件

分子泵組

激光系統(tǒng)

氣敏測試配件

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