| 高溫測試測量探針臺系統
高溫探針臺：
特點/應用 |
高溫探針臺可用于
◆ 4/6/8/12英寸均可升級高溫探針臺
◆ 500度高溫測試
◆ IV/CV/RF測試
◆ 探針臺可根據客戶要求定制
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臺體規格：
型號 | CS-4-HT/CS-6-HT/CH-8-HT/CH-12-HT |
樣品臺尺寸 | 4英寸/6英寸/8英寸/12英寸 |
水平旋轉 | 可360度旋轉，可微調15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置 |
X-Y移動行程 | 4英寸*4英寸/6英寸*6英寸/8英寸*8英寸 |
X-Y移動精度 | 10微米/1微米 |
樣品固定 | 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環 |
針座平臺 | U型針座平臺，最多可放置8個探針座 |
背電極測試 | 樣品臺電學獨立懸空，4mm插孔可接背電極 |
溫度范圍 | 室溫到300度/室溫到400度/室溫到600度 |
溫控精度 | 1度/0.1度/0.01度 |
穩定性 | ±1度/±0.1度 |
外形尺寸 | 400mm長*400mm寬*600mm高/580mm長*480mm寬*600mm高/840mm長*600mm寬*700mm高 |
重量 | 約30千克/60千克/100千克 |
光學系統：
顯微鏡類型 | 單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡 |
放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X |
移動行程 | X-Y軸行程2英寸*2英寸/水平360度旋轉，Z軸行程50.8mm |
光源 | 外置LED環形光源/同軸光源 |
CCD | 200萬像素/500萬像素/1200萬像素 |
定位器：
X-Y-Z移動行程 | 12mm*12mm*12mm |
移動精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.5微米 |
吸附方式 | 磁力吸附/真空吸附 |
線纜 | 同軸線/三軸線 |
漏電精度 | 10pA/100fA/10fA |
固定探針 | 彈簧固定/管狀固定 |
接頭類型 | BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子 |
針尖直徑 | 0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
針尖材質 | 鎢鋼/鈹銅 |
可選附件
水冷裝置 |
顯示器 |
轉接頭 |
射頻測試配件 |
屏蔽箱 |
光學平臺 |
鍍金卡盤 |
光電測試配件 |
高壓測試配件 |
顯微鏡快速傾仰裝置 |
激光系統 |
探針卡夾具 |
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